桌面式拋光摩擦試驗(yàn)機(jī)

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NBIT FTM M110是一款由南京神源生智能科技有限公司研制的桌面式晶圓打磨拋光設(shè)備，具備橫向、縱向及上下摩擦副旋轉(zhuǎn)的四軸聯(lián)動運(yùn)動控制功能，采用電動伺服閉環(huán)控制模式，可精確控制法向加載力，并同步原位獲取摩擦力，得到摩擦系數(shù)。

M110可用于晶圓類產(chǎn)品的打磨拋光，也可用以開展摩擦學(xué)實(shí)驗(yàn)。

電動伺服控制四軸聯(lián)動運(yùn)動模式，上下試樣同時(shí)旋轉(zhuǎn)，可用于打磨拋光也可用于摩擦學(xué)實(shí)驗(yàn)

電動伺服閉環(huán)控制，精確控制法向力

配備液體池，可用于液體環(huán)境拋光，也可用于浸泡式潤滑摩擦實(shí)驗(yàn)

試驗(yàn)機(jī)專用多維力傳感器，同步原位檢測加載力及摩擦力

配備溫度傳感器，實(shí)時(shí)獲取試樣溫度數(shù)據(jù)

可在線導(dǎo)出實(shí)驗(yàn)報(bào)告在線

垂直定位和負(fù)載電機(jī)驅(qū)動	最大垂直行程	100mm
	定位精度	0.02 mm
	速率	0.1～10mm/s
水平定位與驅(qū)動電機(jī)驅(qū)動	最大水平行程	75mm
	定位精度	0.02 mm
	速率	0.1～10mm/s
上部旋轉(zhuǎn)驅(qū)動	轉(zhuǎn)速	0.1～500rpm
上部旋轉(zhuǎn)驅(qū)動	最大負(fù)載	400N
下部旋轉(zhuǎn)驅(qū)動	轉(zhuǎn)速	0.1～500rpm
下部旋轉(zhuǎn)驅(qū)動	最大負(fù)載	400N
額定負(fù)載和摩擦力傳感器	量程	4～400N
額定負(fù)載和摩擦力傳感器	精度	0.4N
溫度測量	測量范圍	-50°C～+100°C
試樣規(guī)格	上試樣	φ100mm、φ150mm 、φ200mm盤
試樣規(guī)格	下試樣	φ200mm 盤
供電及功率		AC220V，50Hz，2kW